ASMLホールディングス

ASMLホールディングNV
会社の種類公共
業界半導体産業
設立
  • 1984年; 41年前（合弁事業） （1984年）
  • 1988年; 37年前（独立会社） （1988年）
本部フェルトホーフェン、オランダ
主要人物
  • クリストフ・フーケ（CEO）
  • ニルス・アンダーセン（監査役会長）
製品半導体産業向けフォトリソグラフィーシステム
収益増加 282.6億ユーロ（2024年） [1]
減少 90億2300万ユーロ（2024年）[1]
減少 75億7200万ユーロ（2024年）[1]
総資産増加 485億9000万ユーロ（2024年）[1]
総資本増加 184.8億ユーロ（2024年）[1]
従業員数
43,395 (2024) [1]
Webサイトasml.com

ASMLホールディングNV （一般的にASMLと略され、元々はAdvanced Semiconductor Materials Lithographyの略）は、集積回路の製造に使用されるフォトリソグラフィー装置の開発と製造を専門とするオランダの 多国籍企業および半導体企業です。2023年現在、同社は半導体業界最大のサプライヤーであり、最先端のチップの製造に必要な極端紫外線リソグラフィー（EUVL）フォトリソグラフィー装置の世界唯一のサプライヤーです。 [2] 2025年9月現在、時価総額は約3,450億ドルで、ヨーロッパ最大のテクノロジー企業であり、最も価値のある企業の1つとなっています。[3]これは、2024年11月に約2,640億ドルと評価されたことに続くもので、その時点ではヨーロッパで最も価値のある企業トップ4にランクされていました。[4] [5]

ASMLは、1984年にオランダのテクノロジー企業フィリップスとASMインターナショナルの合弁企業として設立されました。1995年に完全に独立した企業となりました。ASMLの本社はオランダのフェルトホーフェンにあり、研究、開発、製造、組立の拠点となっています。ASMLは143カ国から42,000人以上の従業員を擁し[1]、約5,000社のティア1サプライヤーのネットワークに依存しています[6]。ASMLは世界中に顧客基盤を持ち、16カ国に60以上のサービス拠点を有しています[6] 。オランダ、米国、ベルギー、フランス、ドイツ、アイルランド、イスラエル、イタリア、英国、中国、香港、日本、韓国、マレーシア、シンガポール、台湾にオフィスを構えています[6] 。

同社はASMLとしてAEXとNasdaqの両証券取引所に上場しており、 Euro Stoxx 50 [7]およびNasdaq-100 [8]の構成銘柄でもあります。

製品

斜めにカットされたASMLレンズ

ASMLは、集積回路の製造に使用される「スキャナ」と呼ばれるフォトリソグラフィー装置を製造しています。これらの装置では、感光材料（フォトレジスト）の膜で覆われたシリコンウエハ上にパターンが光学的に描画されます。この手順は1枚のウエハ上で数十回繰り返されます。その後、フォトレジストはさらに処理され、シリコン上に実際の電子回路が形成されます。ASMLの装置が扱う光学的描画は、ほぼすべての集積回路の製造に使用されており、2011年時点で、ASMLは世界のリソグラフィー装置販売の67%を占めています。[9]

ASMLの以前の競合相手には、ウルトラテック、キヤノン、ニコン、MKSインストゥルメンツ、 ラムリサーチ、ケイデンス・デザイン・システムズなどがありました。[10]

液浸リソグラフィー

液浸リソグラフィーは1970年代にバーン・ジェン・リンによって初めて提案されて以来、 [11] ASMLはTSMCと提携してきました。2004年、TSMCはASMLの液浸リソグラフィーを使用して90ナノメートルの 半導体ノードの商業生産を開始しました。 [12] 2011年現在、TSMCのハイエンドTWINSCAN NXT:1950iシステムは、水浸レンズと波長193nmの光を生成するフッ化アルゴンレーザーを使用して、最大200枚/時の速度で32ナノメートルまでの特徴を製造するために使用されています。 2011年現在、平均的なリソグラフィー装置の価格は2,700万ユーロです。[14]

DUVリソグラフィー

ASMLの深紫外線リソグラフィー（DUV）装置は、紫外線スペクトルを透過する光（[説明が必要]）を使用して、マイクロチップの構造を形成する微細な特徴を印刷します。 [15]

EUVリソグラフィー

極端紫外線リソグラフィー（EUV）は、最も小型かつ複雑なチップ設計を実現するために用いられる重要な技術です。ASMLはEUV市場においてほぼ独占状態にあります。同社の装置は、人間の髪の毛の1万分の1の幅に相当する8ナノメートルという微細なパターンをエッチングすることが可能です。[16]

EUV装置は、高エネルギーレーザーを溶融スズの微小な液滴に集光することでプラズマを発生させ、そこからEUV光を放射することで、13.5nmの波長域の光を生成します。この光はツァイスミラーで反射され、シリコンウェハの表面に照射され、チップのデザインを形成します。[17]

2009年、ベルギーのIMEC研究センターは、プロトタイプのEUVリソグラフィー装置を用いて、世界初の機能的な22nm CMOS スタティックランダムアクセスメモリメモリセルを製造しました。 [18]数十年の開発期間を経て、ASMLは2011年[14]または2013年に最初の量産EUV装置を出荷しました。[19]

2022年現在、ASMLは約140台のEUVシステムを出荷している。[2] ASMLのベストセラーEUV製品はTWINSCAN NXE:3600Dで、価格は最大2億ドルである。[2]この装置の重量は180トンで、輸送にはボーイング747が3機必要である。 [20]

ASMLは次世代のEUVシステムの開発に取り組んでおり、研究開発用の最初の出荷は2023年12月にインテルに、2024年後半にTSMCに出荷される予定です。 [21] [22]このプラットフォームは、開口数（NA）を0.33から0.55に増加させることからHigh-NAと呼ばれています。 [19]各システムのコストは約3億7000万ドルです。[2] [22]

ASMLのEUV装置は、近年、現代の電子機器の複雑さと性能要件の高まりを背景に、需要が大幅に増加しています。これは同社の着実な収益成長につながり、5年前の130億ドルから2023年には300億ドルに達する見込みです。[16]

歴史

ASM Lithographyは、1984年にオランダのASM社とPhilips社の合弁会社として設立されました。1988年に独立した上場企業となり、ASML [23]に改名されました。これは正式名称であり、略称ではありません。[24]

1991年、ASMLはリソグラフィーシステムPAS 5500をリリースし、同社にとって非常に成功したプラットフォームとなった。[25] PAS 5500は、当時ASMLの最大の顧客であり、世界最大のコンピュータメモリおよびストレージメーカーの1つであるMicron Technologyによって最初に使用された。 [26] PAS 5500ラインの成功により、ASMLは当時リソグラフィー市場のリーダーであったCanonとNikonとの激しい競争に突入した。 [25]

ASMLは1997年に極端紫外線（EUV）への移行を検討し始め、1999年にはインテルと他の米国半導体メーカー2社を含むコンソーシアムに加盟し、米国エネルギー省が実施する基礎研究を活用しました。ASMLが運営する共同研究開発協定（CRADA）は米国政府の資金提供を受けているため、ライセンス供与には議会の承認が必要です。ASMLはベルギーのIMECおよびSematechと協力し、ミラーについてはドイツのCarl Zeiss社に依頼しました。[27]

2000年にASMLは、EUV研究成果のライセンスも取得した米国のリソグラフィー装置メーカーであるシリコンバレーグループ（SVG）[28]を買収し、インテル社に193nmスキャナを供給することを目指した[29] [30]。

2002年にはフォトリソグラフィーシステムの最大手サプライヤーとなった。[31]

2008年末、ASMLは売上の大幅な減少を経験し、経営陣は世界中で約1000人の従業員（主に契約社員）を削減し[32]、さらなる大規模な解雇を防ぐためにオランダの国家失業基金に支援を申請しました[33] 。 2年半後、ASMLは過去最高の収益を期待しました[34] 。

2012年7月、インテルはASMLに41億ドルを投資し、15%の所有権を取得する契約を発表しました。これは、300mmウエハーから450mmウエハーへの移行とEUVリソグラフィーのさらなる開発を加速するためです。[35] [36]この契約には将来のASML製品に対する独占権は含まれておらず、2012年7月、ASMLはさらに10%の株式を他社に提供しました。[37] ASMLはEUV戦略の一環として、 2012年10月にDUVおよびEUV光源メーカーのCymerの買収を発表しました。[38]

2013年11月、ASMLは半導体メーカーの需要時期が不透明であることを理由に、450mmリソグラフィー装置の開発を一時停止した。[39]

2015年、ASMLは知的財産の盗難に遭いました。機械最適化ソフトウェアを開発するシリコンバレーのソフトウェア子会社から、複数の従業員が機密データを盗んでいたことが発覚しました。[40]

2016年6月、ASMLは、より小型で高度な半導体を製造する技術を獲得するために、台湾に拠点を置くHermes Microvision Inc.を約31億ドルで買収する計画を発表しました。[41]

2018年、トランプ政権はASMLの技術の中国への売却を阻止しようとしたが[42]、2021年現在、世界的な半導体不足と米中間の「技術冷戦」はASMLにとってビジネスチャンスとなっている。[20] 2019年2月、ASMLはフォトマスクとリソグラフィーへのeBeam技術の導入を支援するコンソーシアムであるeBeam Initiativeに加盟した。[要出典]

2020年11月、ASMLは、EUVシステム向け部品の需要増加に対応するため、ドイツの光学ガラス製造会社ベルリナーグラスグループを買収したことを明らかにした。 [43]

2021年7月、欧州委員のティエリー・ブルトン氏がASMLを訪問し、2030年までに世界の半導体生産量の少なくとも20%を欧州で占めるという目標と、欧州半導体同盟を通じた支援を発表した。[44]同社は2021年7月の決算発表後、TSMCとサムスン電子が先進チップの製造に使用している機械をほぼ独占していると述べた。[45]

2023年2月、ASMLは、中国にいた元従業員が同社の技術に関する情報を「盗んだとされる」と主張した。ASMLが中国関連の知的財産権侵害に関与したとされるのはこれが初めてではない。ASMLは2021年の年次報告書で、東方静源電子有限公司が「ASMLの知的財産権を侵害する可能性のある製品を中国で積極的に販売していた」と述べている。[46]当時、米国商務省はASMLに対する経済スパイ行為について懸念を表明した。[47] 2023年10月、オランダの新聞NRCハンデルスブラッドは、ASMLの技術に関するデータを「盗んだとされる」元従業員がその後ファーウェイに転職したと報じた。[48]

2023年3月、オランダ政府は国家安全保障の観点から半導体製造装置の輸出を制限しました。この措置は、世界のマイクロチップサプライチェーンにおいて最も重要な企業の一つであるASMLに影響を与えました。[49]輸出ライセンスの要件は2023年9月に発効しました。[50]

2023年6月、オランダ人権研究所は、オランダ憲法が国籍に基づく差別を禁じているにもかかわらず、ASMLが米国法を遵守するために、米国輸出管理規則（USEXR）による制裁対象国（中国、キューバ、イラン、北朝鮮、シリアなど）の居住者からの求人応募を拒否することは許可されているとの判決を下した。[51] [52] [53]

2024年1月、オランダ政府は一部の先進的な半導体製造装置の中国への輸出をさらに制限した。[54] 2024年9月6日、オランダ政府は安全性と地政学的な懸念から、中国の先進技術へのアクセスを制限するという米国の規制に同調し、ASMLの特定の半導体製造装置に対する輸出管理を強化した。[55] [56]これらの制限は2025年1月にさらに強化され、ASMLは米国ではなくオランダ政府に輸出許可を申請する必要があった。[57]

財務

財務データ（百万ユーロ）[1] [58]
年201320142015201620172018201920202021202220232024
収益5,2455,8566,2876,7959,05310,94411,82013,97918,61121,17327,55928,263
純利益1,0161,1971,3871,4722,1192,5922,5923,5545,8835,6247,8397,572
資産11,51412,20413,29517,20618,19620,13722,63027,26730,23136,30039,95848,590
従業員10,36011,31812,16813,99116,21920,04423,21926,61429,86136,11242,41643,395

株主

主要機関投資家[59]
ホルダー株式報告日％ 外価値
プライス（T.ロウ）アソシエイツ社10,991,8782022年6月29日2.70%5,152,552,838
キャピタル・ワールド・インベスターズ 6,492,2542022年6月29日1.60%3,043,309,048
フィッシャー・アセット・マネジメントLLC 4,595,7412022年6月29日1.13%2,154,299,596
キャピタル・インターナショナル・インベスターズ 3,919,2392022年6月29日0.96%1,837,182,511
モルガン・スタンレー 3,156,5742022年6月29日0.78%1,479,675,659
WCMインベストメント・マネジメントLLC 3,089,5032022年9月29日0.76%1,448,235,456
エッジウッドマネジメントカンパニー 2,919,4982022年6月29日0.72%1,368,543,910
ステートファーム相互自動車保険会社 2,834,2252022年6月29日0.70%1,328,571,338
FMR LLC 2,763,6952022年6月29日0.68%1,295,509,695
サンズ・キャピタル・マネジメントLLC 1,942,7402022年6月29日0.48%​
トップ投資信託保有者[59]
ホルダー株式報告日％ 外価値
アメリカンバランスファンド2,523,7022022年9月29日0.62%1,183,010,574
グロース・ファンド・オブ・アメリカ2,407,3952022年9月29日0.59%1,128,490,503
iシェアーズ・コア MSCI EAFE ETF2,138,9192022年9月29日0.53%1,002,639,691
ワシントン・ミューチュアル・インベスターズ・ファンド2,138,0402022年9月29日0.53%1,002,227,651
アドバイザー インナーサークルファンド - エッジウッドグロースファンド1,623,6942022年6月29日0.40%7億6112万2815
プライス（T.ロウ）グロースストックファンド株式会社1,627,2162022年6月29日0.40%7億6,277万3,788
iシェアーズ MSCI イーフ ETF1,319,8742022年9月29日0.32%6億1870万4149円
インベスコ ETF Tr-インベスコ QQQ Tr、シリーズ 1 ETF1,264,1612022年9月29日0.31%592,588,122
ニュー・パースペクティブ・ファンド株式会社1,217,8782022年9月29日0.30%5億7089万2503
投資マネージャー Ser Tr-WCM 国際成長ファンドに特化1,197,9522022年7月30日0.29%5億6155万1991

スポンサーシップ

ASMLは2019年にフィリップス、VDLグループ、ロイヤルスウィンケルズファミリーブリュワーズ、ブレインポート地域のジャンボスーパーマーケットと共同でPSVサッカークラブのスポンサーになった。 [60] [61]共同で、学童向けのサッカートレーニングキャンプ、教育用のインタラクティブプログラムの開発、困っている地域住民や地域に新しく来た人々の支援、オンラインの活力プログラムのサポートなど、さまざまなイニシアチブを運営している。[62] [63] ASMLは2022年から2024年までアイントホーフェンマラソンのタイトルパートナーだった。[64]

受賞歴

  • IEEE Spectrum Emerging Technology 2018賞は、 ASMLの極端紫外線リソグラフィーシステムに対して授与されました。ASMLは現在、半導体業界におけるフォトリソグラフィーシステムのトップサプライヤーです。[65]
  • 人気賞部門では、ヴァディム・バニンがマイクロチップ製造の未来を形作った功績により2018年欧州発明家賞を受賞した。[66]
  • ヨーロッパ最大の独立系マイクロエレクトロニクス研究センターはIMEC（Interuniversity Micro Electronics Centre）と呼ばれています。ASMLのマーティン・ファン・デン・ブリンク氏は、2019年のIMEC生涯イノベーション賞を受賞しました。[67]
  • オランダ投資家関係協会（NEVIR）は、上場企業や投資家関係の専門家が業界内で優れた仕事をしているとして表彰する機会を提供しており、2019年オランダIR賞の年次授賞式でASMLに「投資家関係分野の最優秀企業」部門賞を授与した。[68]
  • ASMLは、 2020年のマイクロエレクトロニクス会議SEMICON Westで、極端紫外線リソグラフィー（EUV）への共同アプローチによりSEMI Americas Awardを受賞しました。このアプローチは、EUVの商業的実現に貢献し、新たな技術的可能性への扉を開きました。[69]
  • 2020年のインテル・プリファード・クオリティー・サプライヤー（PQS）賞はASMLに授与されました。ASMLは、継続的な品質改善への取り組みにおいて、インテルの期待を常に上回るパフォーマンスレベルを達成しています。[70]
  • 2021年オランダイノベーション賞は、ワッセナーのヴィッテンブルク城で開催された第4回全国BID AVROTROSイノベーションディナーでASMLに授与されました。[71]
  • ASMLは、企業とスタートアップ企業の間で最も成功し、最も影響力のある革新的なパートナーシップに対して、第1回CoSta賞を受賞しました。[72]

参考文献

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  • 公式サイト
  • 「シリコン時代：半導体デバイス産業の動向」、2022年
  • ASML Holding NVのビジネスデータ:
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