銅シリサイド

銅シリサイド
識別子
  • 12159-07-8 チェックはい
3Dモデル（JSmol）
  • インタラクティブ画像
ケムスパイダー
  • 29356049
ECHA 情報カード100.032.066
EC番号
  • 235-286-8
  • 6336988
  • DTXSID101014289
  • InChI=1S/5Cu.Si
    キー: JUZTWRXHHZRLED-UHFFFAOYSA-N
  • [Si].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu]
プロパティ
Cu 5 Si
モル質量345.8155 g/モル
外観銀粉
融点825℃（1,517°F; 1,098K）
危険
NIOSH（米国健康曝露限界）：
PEL（許可）
TWA 1 mg/m 3（銅として）[1]
REL（推奨）
TWA 1 mg/m 3（銅として）[1]
IDLH（差し迫った危険）
TWA 100 mg/m 3（銅として）[1]
特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）における材料のものです。
☒北 検証する （何ですか  ？）チェックはい☒北

銅ケイ化物は、Cu 4 Si [2]またはペンタ銅ケイ化物、Cu 5 Siのいずれかを指します。

五銅シリサイドは、シリコンと銅の二元化合物です。金属間化合物であり、イオン化合物と合金の中間の性質を持ちます。この固体結晶物質は銀色の固体で、水には溶けません。銅とシリコンの混合物を加熱すると生成します。

アプリケーション

銅シリサイド薄膜は銅配線のパッシベーションに使用され、拡散やエレクトロマイグレーションを抑制し、拡散バリアとして機能します。[3] [より良い情報源が必要]

銅シリサイドは、有機ケイ素化合物の工業的製造法であるダイレクトプロセスに利用されている。このプロセスでは、銅はシリサイドの形で、塩化メチルのシリコンへの付加反応を触媒する。一例として、工業的に有用なジメチルジクロロシランが得られる。[4]

2 CH 3 Cl + Si → (CH 3 ) 2 SiCl 2

参考文献

  1. ^ abc NIOSH化学物質ハザードポケットガイド。「#0150」。米国国立労働安全衛生研究所（NIOSH）。
  2. ^ CRC化学物理ハンドブック、第49版、「無機化合物の物理定数」（p. B-198）。
  3. ^ 「信頼性向上のための銅シリサイドパッシベーション - 米国特許6869873」。2007年9月29日時点のオリジナルよりアーカイブ。2007年2月10日閲覧。
  4. ^ Greenwood, Norman N. ; Earnshaw, Alan (1997). Chemistry of the Elements (第2版). Butterworth-Heinemann . doi :10.1016/C2009-0-30414-6. ISBN 978-0-08-037941-8。


スタブアイコン

この無機化合 物関連の記事はスタブです。記事を充実させることでWikipediaに貢献できます。

「https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Copper_silicide&oldid=1177068114」より取得