二ケイ化チタン

二ケイ化チタン[1]
名前
IUPAC名
二ケイ化チタン
その他の名前
チタンシリサイド
識別子
  • 12039-83-7 チェックはい
3Dモデル（JSmol）
  • インタラクティブ画像
ケムスパイダー
  • 4891882
ECHA 情報カード100.031.719
EC番号
  • 234-904-3
  • 6336889
  • DTXSID70894998
  • InChI=1S/2Si.Ti
    キー: DFJQEGUNXWZVAH-UHFFFAOYSA-N
  • [Si]=[Ti]=[Si]
プロパティ
TiSi2​
モル質量104.038 g/モル
外観黒色の斜方晶系結晶
密度4.02 g/cm 3
融点1,470℃（2,680℉; 1,740 K）
不溶性
溶解度HFに可溶
危険
GHSラベル：
GHS02: 可燃性GHS07: 感嘆符
警告
H228、H315、H319、H335
P210、P240、P241、P261、P264、P271、P280、P302+P352、P304+P340、P305+P351+P338、P312、P321、P332+P313、P337+P313、P362、P370+P378、P403+P233、P405、P501
安全データシート（SDS）[1]
関連化合物
その他の陽イオン
二ケイ化ジルコニウム
二ケイ化ハフニウム
特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）における材料のものです。
チェックはい 検証する （何ですか  ？）チェックはい☒北

二ケイ化チタン（Ti Si 2）は、チタンとシリコンの無機 化合物です。

準備

二ケイ化チタンはチタンまたは水素化チタンとシリコンの反応から得られる。[2]

Ti + 2 Si → TiSi 2

また、アルミニウム粉末、硫黄、二酸化ケイ素、二酸化チタンまたは六フッ化チタン酸カリウム（ K 2 TiF 6 ）を点火するか、六フッ化チタン酸カリウムと二酸化チタンの溶融物を電気分解するか、チタンと四塩化ケイ素を反応させることによって、アルミノテルミット法で製造することもできる。[2]

もう一つの方法は、四塩化チタンとシラン、ジクロロシラン、またはシリコンとの反応である。[3]

TiCl 4 + 2 SiH 4 → TiSi 2 + 4 HCl + 2 H 2
TiCl 4 + 2 SiH 2 Cl 2 + 2 H 2 → TiSi 2 + 8 HCl
TiCl 4 + 3 Si → TiSi 2 + SiCl 4

用途

チタンシリサイドは半導体産業で使用されています。通常、シリコンおよびポリシリコン配線上にサリサイド技術を用いて成長させ、トランジスタのローカル接続部のシート抵抗を低減します。マイクロエレクトロニクス産業では、C54プロセスで使用されます。

参考文献

  1. ^ ライド、デビッド・R.（1998）、化学と物理学ハンドブック（87版）、フロリダ州ボカラトン：CRCプレス、  pp.4-91、ISBN 0-8493-0594-2
  2. ^ ab Brauer、Georg (1978).有機化学ハンドブック、バンド II。ボードラー、マリアンヌ（第 3 版）。シュトゥットガルト：エンケ。 p. 1389.ISBN​ 978-3-432-87813-3. OCLC  310719490。
  3. ^ ピアソン, ヒュー・O. (1999). 『化学蒸着ハンドブック：原理、技術、応用（第2版）』ノーウィッチ、ニューヨーク州: ノイズ出版、p. 331. ISBN 1-59124-030-1. OCLC  49708617。
「https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=チタン二ケイ化物&oldid=1302029570」より取得