オキシフッ化イットリウム

オキシフッ化イットリウム

識別子
3Dモデル（JSmol）	インタラクティブ画像
PubChem CID	161123050
InChI InChI=1S/FH.OY/h1H;;/q;-2;+3/p-1 キー: ULEWOPXGNWLKFY-UHFFFAOYSA-M
笑顔 [Y+3].[O-2].[F-]
プロパティ
化学式	YOF
モル質量	123.903グラム/モル
外観	白い粉
密度	5.18 g/cm 3
構造
結晶構造	正方晶系
空間群	P 4/ nmm [ 1 ]
特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）における材料のものです。 情報ボックスの参照

オキシフッ化イットリウムは、化学式YOFで表される無機化合物です。^{[ 2 ]}通常の条件下では、この化合物は無色の固体です。^{[ 3 ]}

合成

フッ化イットリウムは、真空中で900℃に加熱すると、 フッ化イットリウムの結晶性水和物が分解して生成されることがあります。

${\displaystyle {\mathsf {2YF_{3}\cdot 1/2H_{2}O\ {\xrightarrow {\tau ,900^{o}C}}\ YOF+YF_{3}+2HF}}}$

オキシフッ化イットリウムは、800℃の 過熱蒸気でフッ化イットリウムを加水分解することによっても作ることができます。

${\displaystyle {\mathsf {2YF_{3}+H_{2}O\ {\xrightarrow {800^{o}C}}\ YOF+2HF}}}$

物理的特性

オキシフッ化イットリウムは、正方晶系の無色結晶を形成し、その格子定数はa = 0.3910 nm、c = 0.5431 nmです。六方晶系の場合、格子定数はa = 0.38727 nm、c = 1.897 nm、Z = 6です。

アプリケーション

安定したイットリウムオキシフッ化物材料はプラズマ処理装置の内壁に使用されています。^{[ 4 ] [ 5 ]}

参考文献

1. Donnay, Joseph Désiré Hubert (1973). Crystal Data: Inorganic compounds . National Bureau of Standards . 2025年7月15日閲覧。
2. Mann, AW; Bevan, DJM (1970). 「化学量論的イットリウムオキシフルオライドYOFの結晶構造」 . Acta Crystallographica . B26 (12): 2129– 2131. Bibcode : 1970AcCrB..26.2129M . doi : 10.1107/S0567740870005496 . 2017年6月16日閲覧。
3. Рипан、Р.; Четяну、И。 （1992年）。Неорганическая химия (ロシア語)。
4. Shiba, Yoshinobu (January 2017). "Stable yttrium oxyfluoride used in plasma process chamber". Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 35 (2): 021405. Bibcode:2017JVSTA..35b1405S. doi:10.1116/1.4975143.
5. Tsunoura, Toru; Yoshida, Katsumi; Yano, Toyohiko; Kishi, Yukio (2 May 2017). "Fabrication, characterization, and fluorine-plasma exposure behavior of dense yttrium oxyfluoride ceramics". Japanese Journal of Applied Physics. 56 (6S2) 06HC02. Bibcode:2017JaJAP..56fHC02T. doi:10.7567/JJAP.56.06HC02. S2CID 126342556.

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