タングステンと窒素の化合物
窒化タングステン（W 2 N、WN、WN 2）は、無機化合物であり、タングステンの窒化物です。[1]導電性があり、水中で分解する硬い固体の茶色のセラミック材料です。
マイクロエレクトロニクスにおいては、シリコンと他の金属（例えばタングステンや銅）間のコンタクト材料、導電層、バリア層として使用されます。窒化チタンやタングステン膜ほど一般的ではありません。
白熱電球のフィラメントが加熱されて破裂する と、二酸化タングステン、三酸化タングステン、五酸化タングステンとともに窒化タングステンが生成されます。
タングステンシリサイドも同様の用途を持つ別の材料です。
参考文献
- ^ 劉成祥;王、チャオ。メン、シャンウェイ。リー・シンユン。清、清。王咸芬。シュエ、ルイイン。ユウ、チャン。ヤン、ジアレイ。ワン、クイクイ。趙、暁州。チェン、ウェイ。チャオ、ジェンアン。趙、秀松（2020-11-01）。「リチウムイオン電池の高速アノードとして、多孔質炭窒化ホウ素上に固定された窒化タングステンナノ粒子」。化学工学ジャーナル。399 125705.土井：10.1016/j.cej.2020.125705。ISSN 1385-8947。S2CID 224904157。
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